金属氧化物的细粉在吸附分水后具有极快的速干特性，利用这种现象可以制造出多种金属氧化物湿度传感器。常用的金属氧化物有：CrO3、Fe2O3、Fe3O4、Al2O3、Mg2O3、ZnO以及TiO2等。金属氧化物膜湿度传感器的结构如下图所示。
金属氧化物膜湿度传感器结构图
1-陶瓷基片，2-梳状电极，3-金属氧化物感湿膜，4-引线
金属氧化物的感湿膜的电阻值会随着吸附或释放水分子而变化，通过测量电极间的电阻值即可检测出气体的相对湿度。
参考资料：
[1] 万金庆. 建筑环境测试技术[M]. 武汉: 华中科技大学出版社, 2009.8.
[2] 方修睦. 建筑环境测试技术（第二版）[M]. 北京: 中国建筑工业出版社, 2008.
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